فرن تجمع أكسيد السيليكون Si2oz

فرن تلبيد Si2oz

مناسب للإنتاج الضخم لمواد التبخير مثل أكسيد السيليكون؛ تحكم عالي الدقة في فرق درجة الحرارة، درجة حرارة عالية وفراغ عالي؛ مع التسامي عالي الفراغ، والتفاعل، وإزالة الشحوم، والجفاف، وكشط الطحن التلقائي لمواد التبخير، وتجميع الفرن وغيرها من قدرات العمليات الخاصة.

ميزات المعدات:

كمية كبيرة من المواد، كفاءة إنتاج عالية.

l العملية برمتها مغلقة تمامًا وتشغيل تلقائي، وتجنب تطاير الغبار، وبيئة موقع الإنتاج نظيفة ونظيفة.

l التحكم في درجة الحرارة في حدود 1500 درجة، معدل تسخين سريع.

l يمكن أن يحافظ على التشغيل المستقر تحت الفراغ.

معلمات المعدات:

l نوع الفرن هو هيكل أفقي.

l تتكون المعدات من نظام التسامي، ونظام التجميع، ونظام التسخين، ونظام التحكم في درجة الحرارة، ونظام الفراغ، والنظام الميكانيكي، ونظام التبريد.

يتكون نظام التسامي من منطقة تسخين ومنطقة تجميع. تتكون منطقة التسخين من ملف حثي، وكورندوم ثقيل، ولباد جرافيت صلب وجرافيت متساوي الضغط. تتكون منطقة التجميع من الفولاذ المقاوم للصدأ 310S وطبقة عازلة.

l يعتمد نظام التحكم في درجة الحرارة وضع التحكم المركزي بشاشة تعمل باللمس PLC، والتحكم التلقائي، مع منفذ شبكة، ويمكنه تحقيق التحكم عن بعد.

l يعتمد نظام التسخين التسخين بالحث، ويعتمد مصدر الطاقة طاقة IGBT الموفرة للطاقة مع ضوضاء منخفضة وتوفير للطاقة بنسبة 15٪ تقريبًا مقارنة بمصدر طاقة الثايرستور التقليدي.

يتكون نظام الفراغ من مضخة فراغ متعددة المراحل، وصمام فراغ، وجهاز تحكم في الضغط وخط أنابيب.

l جسم الفرن مصنوع من هيكل تبريد مائي مزدوج الطبقات من الداخل والخارج، والجزء الملامس لماء التبريد مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304، مما يمنع بشكل فعال جسم الفرن من تسرب الغاز لفترة طويلة.

l تم تجهيز نظام التبريد بنظام تبريد مغلق. تستخدم الدورة الداخلية الماء منزوع الأيونات، والذي لن يتسبب في التحجيم في خط أنابيب المعدات. فقدان الماء في الدورة الداخلية صغير. تأثير تبديد الحرارة الجيد، والحماية البيئية المتكاملة، وصغر حجمها وما إلى ذلك.

l حجم منطقة درجة الحرارة الثابتة: Φ500mm*600mm، Φ600mm*800mm، Φ700mm*1000mm، Φ800mm*1600mm وما إلى ذلك. (يمكن تخصيصها وفقًا لاحتياجات العملاء)