logo
Hunan Jingtan Automation Equipment Co., LTD.
Hunan Jingtan Automation Equipment Co., LTD.
المنتجات
المنزل /

المنتجات

معدات ترسب فرن CVD لإعداد مواد أشباه الموصلات من فيلم رقيق

تفاصيل المنتج

اسم العلامة التجارية: Jingtan

إصدار الشهادات: CE

شروط الدفع والشحن

الحد الأدنى لكمية: 1 مجموعة

الأسعار: USD12,000-100,000/SET

تفاصيل التغليف: التعبئة حالة خشبية

وقت التسليم: 60 يوما

شروط الدفع: L/C/T/T.

القدرة على العرض: 30 قطعة / قطع لكل ربع

احصل على أفضل سعر
اتصل الآن
المواصفات
إبراز:

معدات الترسب لمواد أشباه الموصلات,فرن CVD لمواد أشباه الموصلات

,

CVD Furnace For Semiconductor Material

مكان المنشأ:
هونان ، الصين
النوع:
فرن الحث
استخدام:
فرن الترسيب
الفيديو الخروج التفتيش:
تم توفيرها
تقرير اختبار الآلة:
تم توفيرها
المكونات الأساسية:
PLC
brand name:
Jingtan
الجهد:
380
الوزن (ر):
2 ت
الطاقة (كيلوواط):
220
النقاط الرئيسية للبيع:
سعر تنافسى
درجة حرارة التصميم (°C):
1250-2200
درجة حرارة العمل:
900-1200 درجة مئوية
معدل ارتفاع الضغط (Pa/h):
0.67 باسكال/ساعة (150 باسكال/24 ساعة)
طريقة التسخين:
المقاومة/التحريض
أجواء العمل:
الفراغ/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
نوع الفرن:
مربع/دائري/عمودي/أفقي
وضع تبريد الفرن:
تبريد المياه قذيفة الفرن
أداة الأشعة تحت الحمراء:
قياس لوني مفرد/مزدوج
توحيد درجة الحرارة:
± 5
الحد من درجة الفراغ (Pa):
1-100
نوع التسويق:
المنتج العادي
ضمان المكونات الأساسية:
سنة واحدة
الصناعات المطبقة:
أخرى، أشباه الموصلات
مكان المنشأ:
هونان ، الصين
النوع:
فرن الحث
استخدام:
فرن الترسيب
الفيديو الخروج التفتيش:
تم توفيرها
تقرير اختبار الآلة:
تم توفيرها
المكونات الأساسية:
PLC
brand name:
Jingtan
الجهد:
380
الوزن (ر):
2 ت
الطاقة (كيلوواط):
220
النقاط الرئيسية للبيع:
سعر تنافسى
درجة حرارة التصميم (°C):
1250-2200
درجة حرارة العمل:
900-1200 درجة مئوية
معدل ارتفاع الضغط (Pa/h):
0.67 باسكال/ساعة (150 باسكال/24 ساعة)
طريقة التسخين:
المقاومة/التحريض
أجواء العمل:
الفراغ/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
نوع الفرن:
مربع/دائري/عمودي/أفقي
وضع تبريد الفرن:
تبريد المياه قذيفة الفرن
أداة الأشعة تحت الحمراء:
قياس لوني مفرد/مزدوج
توحيد درجة الحرارة:
± 5
الحد من درجة الفراغ (Pa):
1-100
نوع التسويق:
المنتج العادي
ضمان المكونات الأساسية:
سنة واحدة
الصناعات المطبقة:
أخرى، أشباه الموصلات
الوصف
معدات ترسب فرن CVD لإعداد مواد أشباه الموصلات من فيلم رقيق
المواصفات:
فرن الترسبات الفراغية:
تستخدم بشكل رئيسي لإعداد مواد مركبة للكربون والكربون ، ويتم استخدام فرن الترسب بشكل رئيسي لإعداد طبقة الكربون الحراري على سطح الجرافيت ،أجهزة أشباه الموصلات ومواد التنظيف المقاومة للحرارة.
المعيار / رقم الطراز
JT-0305-C
JT-0505-C
JT-0608-C
JT-0608-C
JT-0812-C
JT-1120-C
JT-1218-C
JT-1520-C
حجم منطقة العمل
φ × H ((ملم)
300×500
500 × 500
600×800
600×1200
800×1200
1100×2000
1200×1800
1500×2000
الحرارة العالية
(°C)
2300
2300
2300
2300
2300
2300
2300
2300
توحيد درجة الحرارة ((°C)
±5
±5
±5/±75
±7.5/±10
±7.5/±10
±10/±15
±10/±15
± 15 / ± 20
الحد من درجة الفراغ ((Pa)
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
الحد من درجة الفراغ ((Pa)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
طريقة التدفئة
المقاومة/التحفيز
المقاومة/التحفيز
المقاومة/التحفيز
المقاومة/التحفيز
المقاومة/التحفيز
المقاومة/التحفيز
المقاومة/التحفيز
المقاومة/التحفيز
معدات ترسب فرن CVD لإعداد مواد أشباه الموصلات من فيلم رقيق 0
درجة حرارة التصميم
1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
درجة حرارة عامة
900~1200 درجة مئوية
درجة الفراغ
< 50Pa
معدل ارتفاع الضغط
6.67pA / h ((أو 150Pa / 24h) في حالة البرد في الفرن الفارغ
وضع التدفئة
تسخين مقاومة الجرافيت أو تسخين الاستقبال، التحكم في درجة الحرارة بشكل مستقل، وتوحيد درجة الحرارة الجيد
الوسط الجوي
الفراغ / CH4 / C3H6 / H2 / N2 / Ar
معدات ترسب فرن CVD لإعداد مواد أشباه الموصلات من فيلم رقيق 1
وضع تحكم الغاز
تحكم مقياس تدفق الكتلة، مسار غاز متعدد القنوات، مجال تدفق موحد، لا يوجد زاوية ميتة ترسب، تأثير ترسب جيد؛نظام معالجة غازات العادم متعدد المراحل والفعال، صديقة للبيئة،سهلة التنظيف
نوع الفرن
هيكل مربع أو مستدير أو عمودي أو أفقي (تصميم غير قياسي) ، غرفة ترسب مغلقة بالكامل ، تأثير ختم جيد ،
قدرة قوية على مكافحة التلوث.
وضع تبريد الفرن
تبريد المياه من قشرة الفرن ، يمكن اختيار نظام تبريد سريع من التداول الخارجي ، وقت تبريد قصير ، إنتاج كبير
الكفاءة
معدات ترسب فرن CVD لإعداد مواد أشباه الموصلات من فيلم رقيق 2
شكل الهيكل
التفريغ الأفقي - الجانبي ، الرأسي - التفريغ الصعودي / الهبوطي
وضع القفل
يدوي / أوتوماتيكي
مادة القشرة
الفولاذ المقاوم للصدأ الداخلي/كل الفولاذ المقاوم للصدأ
مواد العزل
شعير الكربون/ شعير الجرافيت/ شعير الألياف الكربونية
جهاز الأشعة تحت الحمراء
الالوان المتنوعة/الالوان المتنوعة
إمدادات الطاقة
KGPS/IGBT ((مناسب فقط للتدفئة المتوسطة التردد)
معايير المنتج:
 
 
منتجات مماثلة
أرسل طلبك
الرجاء إرسال طلبك إلينا وسنرد عليك في أقرب وقت ممكن.
ارسل