وضع قفل الباب فرن الترسب الفراغوني لأجهزة الجرافيت وشبه الموصلات

يتم استخدام فرن الترسبات الفراغية لإعداد مواد مركبة الكربون الكربون،ويتم استخدام فرن الترسب بشكل رئيسي لإعداد طبقة من الكربون الحراري على سطح الجرافيتأجهزة أشباه الموصلات والمواد المقاومة للحرارة.

نطاق التطبيق:

جرافيت، أجهزة أشباه الموصلات، مواد مقاومة للحرارة.

1المعايير الأساسية:

1) درجة حرارة التصميم: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) درجة الحرارة الشائعة: 900~1200°C

3) درجة الفراغ: < 50Pa

4) معدل ارتفاع الضغط: 6.67pA / h ((أو 150Pa / 24h) في حالة البرد في الفرن الفارغ

5) وضع التسخين: تسخين مقاومة الجرافيت أو تسخين الاستحواذ، التحكم في درجة الحرارة المستقلة، وتوحيد درجة الحرارة الجيدة

6) وسط الغلاف الجوي: الفراغ / CH4 / C3H6 / H2 / N2 / Ar

7) وضع تحكم الغاز: تحكم عداد تدفق الكتلة ، مسار الغاز متعدد القنوات ، مجال تدفق موحد ، لا يوجد زاوية ميتة ترسب ، تأثير ترسب جيد.

نظام معالجة غازات العادم متعدد المراحل وكفاءة، صديقة للبيئة، سهلة التنظيف.

8) نوع الفرن: هيكل مربع أو مستدير أو عمودي أو أفقي (تصميم غير قياسي) ، غرفة ترسب مغلقة بالكامل ، تأثير ختم جيد ، قدرة قوية على مكافحة التلوث.

9) وضع تبريد الفرن: تبريد مياه قشرة الفرن ، يمكن اختيار نظام تبريد سريع التداول الخارجي ، وقت تبريد قصير ، وكفاءة إنتاج عالية.

2هيكل فرن الترسب الفراغ:

شكل الهيكل: التفريغ الأفقي - الجانبي ، الرأسي - التفريغ الصعودي / الأسفل

وضع قفل باب الفرن: يدوي / أوتوماتيكي

مادة غلاف الفرن: الفولاذ المقاوم للصدأ الداخلي/كل الفولاذ المقاوم للصدأ

مواد العزل: شعير الكربون/ شعير الجرافيت/ شعير الألياف الكربونية

المواد المستخدمة في التسخين: الجرافيت / CFC

أداة الأشعة تحت الحمراء: ملونة واحدة / ملونة مزدوجة

مصدر الطاقة: KGPS/IGBT ((مناسب فقط للتدفئة المتوسطة التردد)

مواصفات المنتج: