فرن ترسب البخار الكيميائي للمركبات العضوية المعدنية المواد المركبة SiC

يمكن استخدام فرن ترسب البخار لتسخين وتبخير الهاليدات المعدنية والمركبات العضوية المعدنيةالهيدروكربونات ومصادر التفاعل الأخرى تحت ضغط محدد لتوليد الرواسب الصلبة على سطح المادة المستهدفةيستخدم أيضاً في ترسب البخار الكيميائي للمواد المركبة مع غاز الهيدروكربون (مثل C3H8، وما إلى ذلك) كمصدر للكربون، مثل المواد المركبة C/C، المواد المركبة SiC، CVD،معالجة CVI.

الخصائص:

1) عند درجة حرارة متوسطة أو عالية ، يتم تشكيل المواد الصلبة وتحميلها على المصفوفة من خلال التفاعل الكيميائي في المرحلة الغازية بين المركبات الأولية في المرحلة الغازية.

2) يمكن أن يتم إيداعه تحت ضغط جوي أو ظروف فراغ (تراكم الضغط السلبي ، عادة ما تكون جودة فيلم ترسب الفراغ أفضل).

3) استخدام البلازما والتكنولوجيا بمساعدة الليزر يمكن أن تعزز بشكل كبير التفاعل الكيميائي ، بحيث يمكن إجراء الترسب في درجة حرارة أقل.

4) التكوين الكيميائي للطلاء يمكن أن يتغير مع تغيير تكوين المرحلة الغازية ، بحيث تحصل على الرواسب التدرجية أو الطلاء المختلط.

5) يمكن التحكم في كثافة الطلاء ونقاء الطلاء.

6) حول الأجزاء المطلية. يمكن طيها على مصفوفة الشكل المعقدة والمواد الحبيبية. مناسبة لطلاء جميع أنواع الأشكال المعقدة للقطعة. بسبب أدائها الطلاء الجيد،يمكن طيها بخراطيم، القذائف، والثقوب، وحتى الثقوب العمياء للقطعة.

7) الطبقة المستودعة عادة ما يكون لها بنية بلورية عمودية وغير مقاومة للانحناء ،ولكن يمكن تحسين هيكلها عن طريق اضطراب المرحلة الغازية من التفاعل الكيميائي من خلال تقنيات مختلفة.

8) يمكن أن تشكل مجموعة متنوعة من المعادن والسبائك والسيراميك والطلاء المركب من خلال تفاعلات مختلفة.