يمكن استخدامه لتسخين وتبخير الهاليدات المعدنية والمركبات العضوية المعدنيةالهيدروكربونات ومصادر التفاعل الأخرى تحت ضغط محدد لتوليد الرواسب الصلبة على سطح المادة المستهدفةيستخدم أيضاً في ترسب البخار الكيميائي للمواد المركبة مع غاز الهيدروكربون (مثل C3H8، إلخ) كمصدر للكربون، مثل مواد المركبة C/C، مركب SiC
المواد، CVD، معالجة CVI.